一种自动再填充安瓿及其使用方法。
本文描述用于向处理腔室供应气体的设备和方法。
所述设备包括与安瓿形成流体连通的入口管线、出口管线和填充管线。
所描述的设备和使用方法容许在处理期间再填充前体安瓿，而无需拆下或更换安瓿及中断工艺。

J·约德伏斯基 K·崔

应用材料公司

美国加利福尼亚州

一种自动再填充安瓿及其使用方法。
本文描述用于向处理腔室供应气体的设备和方法。
所述设备包括与安瓿形成流体连通的入口管线、出口管线和填充管线。
所描述的设备和使用方法容许在处理期间再填充前体安瓿，而无需拆下或更换安瓿及中断工艺。