本发明公开了一种X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置，包括法兰组件、接头组件；法兰组件轴线处开设有冷介质通孔；装置还包括密封组件、波纹管；波纹管与冷却管之间的空间被配置为低真空环境空间，低真空环境空间的真空度与真空系统内真空度均远小于大气压。
本发明的装置通过法兰组件连接一波纹管，利用波纹管将冷却管包裹并在两者之间形成一个低真空环境，有利于保护冷却管，并能防止无此低真空环境时由于压差过大使波纹管产生较大的变形量，而且能有效防止冷却介质泄漏到真空系统中。
再利用法兰组件和接头组件形成冷介质传输的通道，实现工艺上游真空系统的冷却设备与工艺下游待冷却光学元件的连接。

龚学鹏 卢启鹏 宋源 彭忠琦 王依 徐彬豪 赵晨行

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

本发明公开了一种X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置，包括法兰组件、接头组件；法兰组件轴线处开设有冷介质通孔；装置还包括密封组件、波纹管；波纹管与冷却管之间的空间被配置为低真空环境空间，低真空环境空间的真空度与真空系统内真空度均远小于大气压。
本发明的装置通过法兰组件连接一波纹管，利用波纹管将冷却管包裹并在两者之间形成一个低真空环境，有利于保护冷却管，并能防止无此低真空环境时由于压差过大使波纹管产生较大的变形量，而且能有效防止冷却介质泄漏到真空系统中。
再利用法兰组件和接头组件形成冷介质传输的通道，实现工艺上游真空系统的冷却设备与工艺下游待冷却光学元件的连接。