本申请实施例提供了一种阀门箱及反应物供应系统，阀门箱包括：输入管道，用于连接第一反应物供应设备，以接收第一反应物供应设备供应的第一反应物质；传输管道，传输管道的进口端连接输入管道的出口端；至少一个输出管道，输出管道的进口端连接传输管道的出口端，输出管道的出口端用于连接反应机台；功能管道，功能管道的出口端连接传输管道和/或至少一个输出管道，功能管道的进口端用于连接第二反应物供应设备，以向输出管道供应第二反应物；和/或，功能管道的进口端用于连接清洁物供应设备，以至少清洁输出管道。
本申请提供了一种集成较多的功能且占据减小空间的阀门箱及反应物供应系统。

廖世旺 陈浩 周利刚

长江存储科技有限责任公司

430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

本申请实施例提供了一种阀门箱及反应物供应系统，阀门箱包括：输入管道，用于连接第一反应物供应设备，以接收第一反应物供应设备供应的第一反应物质；传输管道，传输管道的进口端连接输入管道的出口端；至少一个输出管道，输出管道的进口端连接传输管道的出口端，输出管道的出口端用于连接反应机台；功能管道，功能管道的出口端连接传输管道和/或至少一个输出管道，功能管道的进口端用于连接第二反应物供应设备，以向输出管道供应第二反应物；和/或，功能管道的进口端用于连接清洁物供应设备，以至少清洁输出管道。
本申请提供了一种集成较多的功能且占据减小空间的阀门箱及反应物供应系统。