提供恒温水提供方法和恒温水提供装置,能够高效地对加工装置提供规定的温度的水。
在实施了利用第1送出泵(4)、第2送出泵(12)将水从第1贮存容器(3)、第2贮存容器(11)送出的送出步骤之后,进入利用第1压力检测构件(5)、第2压力检测构件(13)对从第1、第2贮存容器送出的水的压力进行检测的压力检测步骤,当在压力检测步骤中检测出的压力未达到容许下限值的情况下,进行在使第1、第2送出泵的工作暂时停止之后使第1、第2送出泵再次工作的送出泵重试步骤,所以能够在将混入到送出泵中或流路中的空气去除之后,使第1、第2送出泵再运转。
由此,与以往相比,能够高效地对加工装置(20)提供规定的温度的水。
松本正臣 齐藤优
株式会社迪思科
日本东京都
提供恒温水提供方法和恒温水提供装置,能够高效地对加工装置提供规定的温度的水。
在实施了利用第1送出泵(4)、第2送出泵(12)将水从第1贮存容器(3)、第2贮存容器(11)送出的送出步骤之后,进入利用第1压力检测构件(5)、第2压力检测构件(13)对从第1、第2贮存容器送出的水的压力进行检测的压力检测步骤,当在压力检测步骤中检测出的压力未达到容许下限值的情况下,进行在使第1、第2送出泵的工作暂时停止之后使第1、第2送出泵再次工作的送出泵重试步骤,所以能够在将混入到送出泵中或流路中的空气去除之后,使第1、第2送出泵再运转。
由此,与以往相比,能够高效地对加工装置(20)提供规定的温度的水。