本发明涉及电子气的技术领域，更具体地，涉及一种适用于电子气工厂的制氮机，包括空气过滤及压缩系统、空气预冷系统、空气纯化系统、换热器系统、氧氮精馏系统及后备系统：空气先进入空气过滤器去除杂质，后送往空气压缩机压缩，空气自下而上流出空气冷却塔进入空气纯化系统，纯化后的空气经换热器冷却到液化温度后进入第一塔参与精馏，精馏得到的氮气作为氮气产品送用户，少量液氮送入后备系统，精馏得到的富氧液空可回流至空气纯化系统和空气预冷系统。
本发明具有宽泛的负荷调节范围，可节约能耗；氧氮精馏系统采用双塔设计，可提高氮气提取率；吸附器内设置多层填料层，可满足产品气高标准要求；关键设备一用一备，可避免设备宕机对制氮供气的影响。

邓韬 王开兵 钟小禹 刘巍 王君 全诗林

广州广钢气体能源股份有限公司

511462 广东省广州市南沙区万顷沙镇红钢路5号（钢铁基地内）室

本发明涉及电子气的技术领域，更具体地，涉及一种适用于电子气工厂的制氮机，包括空气过滤及压缩系统、空气预冷系统、空气纯化系统、换热器系统、氧氮精馏系统及后备系统：空气先进入空气过滤器去除杂质，后送往空气压缩机压缩，空气自下而上流出空气冷却塔进入空气纯化系统，纯化后的空气经换热器冷却到液化温度后进入第一塔参与精馏，精馏得到的氮气作为氮气产品送用户，少量液氮送入后备系统，精馏得到的富氧液空可回流至空气纯化系统和空气预冷系统。
本发明具有宽泛的负荷调节范围，可节约能耗；氧氮精馏系统采用双塔设计，可提高氮气提取率；吸附器内设置多层填料层，可满足产品气高标准要求；关键设备一用一备，可避免设备宕机对制氮供气的影响。