本发明提供一种半导体晶盒清洗干燥储存一体化方法及设备，该设备包括：控制模块、晶盒装载单元、晶盒清洗单元、晶盒真空干燥单元、晶盒储存单元、晶盒卸载单元、晶盒载具以及所述晶盒载具的输运装置；该方法采用晶盒载具装载晶盒；将晶盒连同晶盒载具一起进行超声波或兆声波清洗；将清洗后的晶盒连同晶盒载具一起进行真空干燥；将真空干燥后的晶盒连同晶盒载具一起储存；将储存的晶盒连同晶盒载具一起取出，并将晶盒从晶盒载具中卸载。
本发明可实现半导体晶盒的清洗、干燥、储存一体化，提高了晶盒的清洗干燥的效率和质量，节约了时间成本。

赵厚莹

上海新昇半导体科技有限公司

201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室

本发明提供一种半导体晶盒清洗干燥储存一体化方法及设备，该设备包括：控制模块、晶盒装载单元、晶盒清洗单元、晶盒真空干燥单元、晶盒储存单元、晶盒卸载单元、晶盒载具以及所述晶盒载具的输运装置；该方法采用晶盒载具装载晶盒；将晶盒连同晶盒载具一起进行超声波或兆声波清洗；将清洗后的晶盒连同晶盒载具一起进行真空干燥；将真空干燥后的晶盒连同晶盒载具一起储存；将储存的晶盒连同晶盒载具一起取出，并将晶盒从晶盒载具中卸载。
本发明可实现半导体晶盒的清洗、干燥、储存一体化，提高了晶盒的清洗干燥的效率和质量，节约了时间成本。