本发明公开了一种基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，包括底板、顶板、滑移抓取机构、料盘、光学良率检测机构及干燥震动机构；所述滑移抓取机构包括直线滑移部件、垂直位移部件和超声磁性抓取头，所述超声磁性抓取头通过一悬臂连接在垂直位移部件上；所述超声磁性抓取头包括压电微动片、第一超声震动器和座体，所述座体设有多个微震动片，每个所述微震动片均设线性磁电极，所述线性磁电极具有吸附平面；所述干燥震动机构包括可控超声震动器、料槽、U形的隔离罩、静压氮气喷板；所述光学良率检测机构包括第二超声震动器、发光源、光学玻璃板、荧光板支架和荧光接收板；本发明能够实现Micro LED的定向排列，同时能保证Micro LED的排列良率。

黄加伟

科瓦力(宁波)精密器械有限公司

315000 浙江省宁波市鄞州区首南街道句章东路1017号520室

本发明公开了一种基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，包括底板、顶板、滑移抓取机构、料盘、光学良率检测机构及干燥震动机构；所述滑移抓取机构包括直线滑移部件、垂直位移部件和超声磁性抓取头，所述超声磁性抓取头通过一悬臂连接在垂直位移部件上；所述超声磁性抓取头包括压电微动片、第一超声震动器和座体，所述座体设有多个微震动片，每个所述微震动片均设线性磁电极，所述线性磁电极具有吸附平面；所述干燥震动机构包括可控超声震动器、料槽、U形的隔离罩、静压氮气喷板；所述光学良率检测机构包括第二超声震动器、发光源、光学玻璃板、荧光板支架和荧光接收板；本发明能够实现Micro LED的定向排列，同时能保证Micro LED的排列良率。