本发明公开了一种界面吸附式Micro LED排列机器人，包括底板、顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置及电容式缺陷检测装置，吸附膜卷的吸附膜上开设有容置井，顶板设有第一辊轴单元；界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、气囊、两个辊轴磁化单元及两个第二辊轴单元，排列液槽的底部灌装有去离子水，排列液槽的顶部灌装有Micro LED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面；油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽以及两个对称设于容液槽内的第三辊轴单元；本发明能够实现Micro LED连续式、定向排列在吸附膜上，效率大大提高，同时能确保Micro LED的排列良率。

黄加伟

科瓦力(宁波)精密器械有限公司

315000 浙江省宁波市鄞州区首南街道句章东路1017号520室

本发明公开了一种界面吸附式Micro LED排列机器人，包括底板、顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置及电容式缺陷检测装置，吸附膜卷的吸附膜上开设有容置井，顶板设有第一辊轴单元；界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、气囊、两个辊轴磁化单元及两个第二辊轴单元，排列液槽的底部灌装有去离子水，排列液槽的顶部灌装有Micro LED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面；油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽以及两个对称设于容液槽内的第三辊轴单元；本发明能够实现Micro LED连续式、定向排列在吸附膜上，效率大大提高，同时能确保Micro LED的排列良率。