本发明涉及一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体、工作台、蓄水盒、连管、喷洒管和若干喷头，还包括清洁机构和转动机构，转动机构包括放置板、两个转动组件和两个支撑杆，转动组件包括转动齿轮、第一轴承、转轴、蜗轮、蜗杆和传动单元，清洁机构包括连接盒、两个驱动组件、若干喷嘴和若干支管，驱动组件包括电机、驱动轴、驱动杆、气囊、弹簧、固定板、压板、进气管和出气管，该用于芯片生产的清洗设备通过转动机构，带动晶圆转动，可以向晶圆的各处喷洒清洁液，扩大了清洁的范围，通过清洁机构，使得喷嘴向晶圆吹气，可以将粘附在晶圆上的清洁液吹落，避免晶圆长期被清洁液覆盖而被氧化出现缺陷。

张晓奎

张晓奎

029100 内蒙古自治区通辽市扎鲁特旗巨日合镇幸福村16号

本发明涉及一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体、工作台、蓄水盒、连管、喷洒管和若干喷头，还包括清洁机构和转动机构，转动机构包括放置板、两个转动组件和两个支撑杆，转动组件包括转动齿轮、第一轴承、转轴、蜗轮、蜗杆和传动单元，清洁机构包括连接盒、两个驱动组件、若干喷嘴和若干支管，驱动组件包括电机、驱动轴、驱动杆、气囊、弹簧、固定板、压板、进气管和出气管，该用于芯片生产的清洗设备通过转动机构，带动晶圆转动，可以向晶圆的各处喷洒清洁液，扩大了清洁的范围，通过清洁机构，使得喷嘴向晶圆吹气，可以将粘附在晶圆上的清洁液吹落，避免晶圆长期被清洁液覆盖而被氧化出现缺陷。