本发明公开了一种烤箱及气悬浮装置，该气悬浮装置包括供气源及与所述供气源的出气端连通的第一供气管，所述第一供气管设有至少一个第一出气孔，所述第一出气孔用于气悬浮支撑基板。
该气悬浮装置能够利用气悬浮来支撑基板，使得该基板在烤箱中加热干燥时，不会出现局部受热过高，能够避免造成基板损坏。

许剑 孙贤文

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本发明公开了一种烤箱及气悬浮装置，该气悬浮装置包括供气源及与所述供气源的出气端连通的第一供气管，所述第一供气管设有至少一个第一出气孔，所述第一出气孔用于气悬浮支撑基板。
该气悬浮装置能够利用气悬浮来支撑基板，使得该基板在烤箱中加热干燥时，不会出现局部受热过高，能够避免造成基板损坏。