本发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置，包括密封延长管、外密封炉门，以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门，所述密封延长管套设于所述反应管外周，密封延长管内端与所述反应管密封连接，外端与所述外密封炉门之间设有密封件，所述外密封炉门配置有开关门驱动机构，所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。
本发明进一步公开了一种低压扩散炉，包括反应管，还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。
本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。

陈晖 舒勇东 杨彬 黄志海 赵志然

中国电子科技集团公司第四十八研究所

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

本发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置，包括密封延长管、外密封炉门，以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门，所述密封延长管套设于所述反应管外周，密封延长管内端与所述反应管密封连接，外端与所述外密封炉门之间设有密封件，所述外密封炉门配置有开关门驱动机构，所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。
本发明进一步公开了一种低压扩散炉，包括反应管，还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。
本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。