本发明涉及在喷射由液体与气体混合的混合流体的同时清洗基板时，可提高对所述基板的清洗效率，并且能够减少使用能源的基板清洗装置。
为此，本发明提供一种基板清洗装置，包括：基板清洗部、压缩气体供应部、超纯水供应部、排气储罐单元、废水储罐单元、第一热交换单元、第二热交换单元。

朴庸硕 赵才衍 朴镐胤 朴康淳 金珉植

显示器生产服务株式会社

韩国京畿道

本发明涉及在喷射由液体与气体混合的混合流体的同时清洗基板时，可提高对所述基板的清洗效率，并且能够减少使用能源的基板清洗装置。
为此，本发明提供一种基板清洗装置，包括：基板清洗部、压缩气体供应部、超纯水供应部、排气储罐单元、废水储罐单元、第一热交换单元、第二热交换单元。