本发明属于光学面形检测技术领域，具体地提供一种反衍混合自适应补偿干涉检测方法、装置和计算机设备，通过搭建反衍混合自适应补偿干涉检测装置，先将反衍混合自适应补偿干涉检测装置中的空间光调制器的位置留空，仅保留变形镜，使用像差控制器驱动变形镜产生低阶像差补偿，将幅值占比大的低阶像差补偿掉；然后变形镜保持当前状态固定不动，在分光镜和变形镜之间插入空间光调制器，利用像差控制器驱动空间光调制器产生高阶像差补偿，将幅值占较小的高阶像差补偿掉，通过级联自适应光学元件的方法克服单一自适应光学元件性能短板，提升自适应补偿干涉检测方法性能，具有更灵活适应研磨、抛光过渡阶段粗抛大面形干涉检测的优点。

薛帅 戴一帆 石峰

中国人民解放军国防科技大学

410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号

本发明属于光学面形检测技术领域，具体地提供一种反衍混合自适应补偿干涉检测方法、装置和计算机设备，通过搭建反衍混合自适应补偿干涉检测装置，先将反衍混合自适应补偿干涉检测装置中的空间光调制器的位置留空，仅保留变形镜，使用像差控制器驱动变形镜产生低阶像差补偿，将幅值占比大的低阶像差补偿掉；然后变形镜保持当前状态固定不动，在分光镜和变形镜之间插入空间光调制器，利用像差控制器驱动空间光调制器产生高阶像差补偿，将幅值占较小的高阶像差补偿掉，通过级联自适应光学元件的方法克服单一自适应光学元件性能短板，提升自适应补偿干涉检测方法性能，具有更灵活适应研磨、抛光过渡阶段粗抛大面形干涉检测的优点。