本发明公开了一种高功率激光集束远场组合焦斑测量方法及系统，旨在目前因集束终端焦斑的形貌和单束终端焦斑的形貌之间存在差异导致物理实验结果偏差的技术问题。
本发明的测量系统包括沿光路依次设置的取样反射镜组、准直负透镜组、第一衰减镜组、放大镜组及CCD；取样反射镜组包括沿被测集束焦斑的光路依次设置且中心分别设有通光孔的取样反射镜Ⅱ和取样反射镜Ⅰ；取样反射镜Ⅱ和取样反射镜Ⅰ均为抛物面反射镜，且二者的凹面相对；准直负透镜组用于对取样的光束进行缩束并准直；第一衰减镜组包含至少两个衰减片，每个衰减片的法线与光束之间的夹角为θ，10°＜θ＜20°；放大镜组用于对衰减后的光束进行放大；CCD用于获取放大后光束的图像。

李红光 达争尚 袁索超 陈永权 董晓娜

中国科学院西安光学精密机械研究所

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

本发明公开了一种高功率激光集束远场组合焦斑测量方法及系统，旨在目前因集束终端焦斑的形貌和单束终端焦斑的形貌之间存在差异导致物理实验结果偏差的技术问题。
本发明的测量系统包括沿光路依次设置的取样反射镜组、准直负透镜组、第一衰减镜组、放大镜组及CCD；取样反射镜组包括沿被测集束焦斑的光路依次设置且中心分别设有通光孔的取样反射镜Ⅱ和取样反射镜Ⅰ；取样反射镜Ⅱ和取样反射镜Ⅰ均为抛物面反射镜，且二者的凹面相对；准直负透镜组用于对取样的光束进行缩束并准直；第一衰减镜组包含至少两个衰减片，每个衰减片的法线与光束之间的夹角为θ，10°＜θ＜20°；放大镜组用于对衰减后的光束进行放大；CCD用于获取放大后光束的图像。