本公开提供了热气性质传感器和补偿压差传感器，以及用于测量气体物理性质的方法和用于补偿压差传感器的方法。
在腔中产生气体的参考过压。
基于来自腔的气体通过通道的流动，识别气体的性质。

奥列格·格鲁丁 安德烈亚斯·宁多夫

第一传感器股份有限公司

德国柏林

本公开提供了热气性质传感器和补偿压差传感器，以及用于测量气体物理性质的方法和用于补偿压差传感器的方法。
在腔中产生气体的参考过压。
基于来自腔的气体通过通道的流动，识别气体的性质。