本发明公开一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法,该红外探测器包括:衬底,设有隔热腔体;支撑层,形成于衬底的上表面;热电堆单元,形成于支撑层上,从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层,且第一、第二热偶层通过第一绝缘层中的第一接触孔连接;第二绝缘层、电磁屏蔽层、红外吸收层,依次形成于热电堆单元上,且对红外吸收层和第二绝缘层局部刻蚀出第二接触孔。
本发明通过在红外吸收层下方设置可接地的电磁屏蔽层,实现电磁屏蔽,从而有利于减小测量误差,提高探测器的可靠性;此外,该电磁屏蔽层还可对被测物体产生的红外辐射进行反射,有助于红外吸收层进行二次吸收,从而提高其红外吸收率,增强红外探测性能。
不公告发明人
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本发明公开一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法,该红外探测器包括:衬底,设有隔热腔体;支撑层,形成于衬底的上表面;热电堆单元,形成于支撑层上,从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层,且第一、第二热偶层通过第一绝缘层中的第一接触孔连接;第二绝缘层、电磁屏蔽层、红外吸收层,依次形成于热电堆单元上,且对红外吸收层和第二绝缘层局部刻蚀出第二接触孔。
本发明通过在红外吸收层下方设置可接地的电磁屏蔽层,实现电磁屏蔽,从而有利于减小测量误差,提高探测器的可靠性;此外,该电磁屏蔽层还可对被测物体产生的红外辐射进行反射,有助于红外吸收层进行二次吸收,从而提高其红外吸收率,增强红外探测性能。