一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。
对称轴线垂直于旋转轴线。
检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。
M·汤普森 H·乔哈里-加勒 L·巴尔达萨雷 S·尼灿 K·威廉姆斯
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美国加利福尼亚
一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。
对称轴线垂直于旋转轴线。
检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。