本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。
本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC,包括:pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构;所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针;所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行;所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。
本发明的有益效果:通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷,降低SEM电子束对PRC造成的干扰,使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。
陈科纶 王纯配 陈俊 孙钰 汝长海
江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
215100 江苏省苏州市相城区高铁新城环秀湖大厦(原怡城园艺)南三、四楼
本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。
本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC,包括:pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构;所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针;所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行;所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。
本发明的有益效果:通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷,降低SEM电子束对PRC造成的干扰,使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。