本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜,属于扫描近场光学显微镜。
该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜,电子枪产生谐波形式的近场信号,该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号;探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号,通过分离远场信号和近场信号,得到最终的扫描结果。
本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源,通过对自由电子进行调制,取代原有针尖振动所起的调制作用,提升信号转化效率、信噪比,同时因为不再需要针尖进行抖动,避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响,最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果,具有深远的实用意义。
胡旻 张天宇 张倬铖 王玥莹 张晓秋艳 许星星 吴振华 刘盛纲
电子科技大学
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜,属于扫描近场光学显微镜。
该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜,电子枪产生谐波形式的近场信号,该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号;探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号,通过分离远场信号和近场信号,得到最终的扫描结果。
本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源,通过对自由电子进行调制,取代原有针尖振动所起的调制作用,提升信号转化效率、信噪比,同时因为不再需要针尖进行抖动,避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响,最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果,具有深远的实用意义。