本发明为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。

山崎贤治 小暮亮雅

株式会社岛津制作所

日本国京都府京都市中京区西之京桑原町1番地

本发明为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。