本发明涉及一种PT对称微机械磁场传感器,包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构、静电耦合结构、可调阻尼电路和磁场输入结构,其中第一微机械结构和第二微机械结构通过静电结构耦合,且镜像对称,可调阻尼电路作用于第一微机械结构的等效阻尼和第二微机械结构的等效阻尼符号相反、大小相等。
本传感器系统工作在PT对称状态的奇点区域,根据已有PT对称系统的研究报道,偏置在奇异点的PT对称微机械磁场传感器的灵敏度将比传统的非PT对称系统有数量级的提高。
王立峰 张尚洋 张曼娜 黄庆安 董蕾
东南大学
210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
本发明涉及一种PT对称微机械磁场传感器,包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构、静电耦合结构、可调阻尼电路和磁场输入结构,其中第一微机械结构和第二微机械结构通过静电结构耦合,且镜像对称,可调阻尼电路作用于第一微机械结构的等效阻尼和第二微机械结构的等效阻尼符号相反、大小相等。
本传感器系统工作在PT对称状态的奇点区域,根据已有PT对称系统的研究报道,偏置在奇异点的PT对称微机械磁场传感器的灵敏度将比传统的非PT对称系统有数量级的提高。