本发明公开了一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置,包括:真空腔,以及设置于真空腔内且中轴线重合并依次间隔排列的光电阴极、栅极、阳极、电会聚镜和电物镜;光电阴极用于在飞秒激光脉冲激励下产生飞秒脉冲电子束;光电阴极和阳极之间加电压,用于对电子束加速;电会聚镜和电物镜的电压均可调,用于两次对加速后的电子束会聚,得到平行束或实际所需会聚角的会聚束电子脉冲。
本发明采用电会聚镜和电物镜来对脉冲电子束进行两次聚焦,电会聚镜和电物镜的电压灵活可调,从而可得到不同会聚程度和束斑尺寸的脉冲电子束。
另外,本发明采用静电透镜能大幅减少电子源装置的尺寸,结构简单,进而能够提高所需电子束的质量以及灵活可控性。
梁文锡 胡春龙 叶昶
华中科技大学
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
本发明公开了一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置,包括:真空腔,以及设置于真空腔内且中轴线重合并依次间隔排列的光电阴极、栅极、阳极、电会聚镜和电物镜;光电阴极用于在飞秒激光脉冲激励下产生飞秒脉冲电子束;光电阴极和阳极之间加电压,用于对电子束加速;电会聚镜和电物镜的电压均可调,用于两次对加速后的电子束会聚,得到平行束或实际所需会聚角的会聚束电子脉冲。
本发明采用电会聚镜和电物镜来对脉冲电子束进行两次聚焦,电会聚镜和电物镜的电压灵活可调,从而可得到不同会聚程度和束斑尺寸的脉冲电子束。
另外,本发明采用静电透镜能大幅减少电子源装置的尺寸,结构简单,进而能够提高所需电子束的质量以及灵活可控性。