一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置
摘要文本
本发明涉及一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置，其包括真空壳体、旋转传动机构、旋转磁流体密封件、筒状转动框架及工件滚筒；旋转磁流体密封件包括固定密封座、传动转轴和转轴齿轮；筒状转动框架包括后法兰板、前法兰环及水冷筋板；传动转轴一端装配连接筒状转动框架，另一端与旋转传动机构连接并还安装有旋转水接头；旋转水接头内部还穿设有中心回水管；中心回水管一端伸入旋转水接头内部，另一端与筒状转动框架连接。本发明能使装载工件的滚筒持续接受冷却水强制接触式冷却，可用于大批量小薄尺寸工件持续地翻滚搅拌和持续地接触式强制水冷，实现工件全表面在温度控制条件下的均匀镀铝或者镀制其它金属膜层的应用。
申请人信息
- 申请人:北京丹普表面技术有限公司
- 申请人地址:102200 北京市昌平区沙河镇昌平路97号8幢B807(昌平示范园)
- 发明人: 北京丹普表面技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811031952.4 |
| 申请日 | 2018年9月5日 |
| 公告号 | CN108774730B |
| 公开日 | 2024年3月15日 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 北京丹普表面技术有限公司 |
| 发明人 | 董骐; 罗蓉平; 李常彬; 刘永军; 张超逸; 杜建 |
| 地址 | 北京市昌平区沙河镇昌平路97号8幢B807(昌平示范园) |
专利主权项内容
1.一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置，包括真空壳体、安装于所述真空壳体后端外侧的旋转传动机构和旋转磁流体密封件、安装于所述真空壳体内侧的筒状转动框架以及活动安装于所述筒状转动框架内侧的工件滚筒；所述旋转磁流体密封件包括固定密封座、传动转轴和转轴齿轮；所述固定密封座安装在所述真空壳体的后端中部外侧；所述传动转轴水平穿过所述固定密封座中心内部，其一端装配连接所述筒状转动框架，另一端与所述旋转传动机构连接；所述筒状转动框架包括后法兰板、前法兰环及连接于所述后法兰板和前法兰环之间的水冷筋板；其特征在于：所述传动转轴采用空心转轴结构即内部沿轴向贯通开设有传动转轴内孔：所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接有旋转水接头；所述旋转水接头的一端径向安装有冷却水进水接嘴且一端轴向端部安装有冷却水出水接嘴；所述冷却水进水接嘴与所述传动转轴内孔连通；所述旋转水接头的另一端与所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接；所述旋转水接头的内部沿轴向还穿设有用于回水的中心回水管；所述中心回水管的一端伸入所述旋转水接头内部并与所述冷却水出水接嘴匹配连通；所述中心回水管的另一端穿过所述传动转轴伸入所述真空壳体内侧与所述筒状转动框架连接；所述水冷筋板上设有密封水道且位于所述筒状转动框架内侧的一面上还固设有导电导热金属板；所述导电导热金属板的内侧固设有导电导热硅胶垫；相邻所述水冷筋板的后端之间还连接有进出水管；所述进出水管将所述水冷筋板上的水路串联后形成进出水通路；所述进出水通路的进水端与所述传动转轴内孔匹配连通；所述进出水通路的出水端与所述中心回水管的内管孔匹配连通；所述工件滚筒包括相对所述工件滚筒的中心轴直径持续平滑变化的六块长弧形筒板、连接于相邻所述长弧形筒板之间的六块短筒板以及连接于所述长弧形筒板和短筒板前后两端的圆锥形凸套管；所述工件滚筒在转动过程中， 所述长弧形筒板的外弧面匹配与所述导电导热硅胶垫紧密接触，且通过所述导电导热金属板将热量传导到所述水冷筋板上；所述可移出式滚筒装置还包括安装于所述工件滚筒的内侧或外侧的镀膜靶源。 （来 自 马 克 数 据 网）