一种基片固定装置

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本发明公开了一种基片固定装置，载板的各个边框槽的深度不同，即各个边框槽的外侧边缘与对应的边框的内侧边缘的距离不尽相同，在实际放置基片时，可将基片向深度较小的边框槽靠近或贴紧放置，即首先保证基片在深度较小边框槽处无效边被遮挡，即可保证各个无效边被遮挡，如此即可避免基片放置到基片槽中之后的遮挡无效边区域变小、甚至遮挡失败的情况，满足镀膜要求；另外，在基片与压块之间设置弹性件，可保证始终对基片实现压紧，从而解决基片厚度的差异会造成基片无法同时压紧的情况。