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用于柔性基板的光学自动检测装置
摘要文本
本发明公开了一种用于柔性基板的光学自动检测装置，该光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个出气口的上方；夹持机构适于夹持柔性基板并沿气动平台的长度方向可移动；多个检测件分别位于气动平台的上方和下方，上方的检测件用于直接对柔性基板的上表面检测，下方的检测件用于透过开槽对柔性基板的下表面检测；其中，开槽为非线形，且在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。
申请人信息
- 申请人:京东方科技集团股份有限公司; 绵阳京东方光电科技有限公司
- 申请人地址:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 发明人: 京东方科技集团股份有限公司; 绵阳京东方光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于柔性基板的光学自动检测装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810242228.X |
| 申请日 | 2018年3月22日 |
| 公告号 | CN108387258B |
| 公开日 | 2024年1月16日 |
| IPC主分类号 | G01D21/00 |
| 权利人 | 京东方科技集团股份有限公司; 绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 发明人 | 管礼志; 金成浩 |
| 地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路10号; 四川省绵阳市高新区科发大道中段198号 |
专利主权项内容
1.一种用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，包括：气动平台，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；夹持机构，所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；和多个检测件，所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对；位于所述开槽的两侧中的每一侧的、与所述开槽在宽度方向上相对的出气口的个数均为多个，邻近所述开槽的两侧设置的多个出气口的分布轨迹与所述开槽的侧壁的延伸形状相一致。