一种直线运动监测反馈模块及其监测方法和应用

专利主权项内容

1.一种用于监测隔离环境中直线运动装置的监测系统，其特征在于，所述监测系统包括：监测反馈模块以及直线运动轴驱动装置；所述监测反馈模块包括：传动齿轮组、反馈传动机构、丝杆、滑块和位移传感器；其中，所述传动齿轮组包括主动齿轮和被动齿轮，所述被动齿轮与反馈传动机构的一端连接并以一定齿轮比与主动齿轮啮合；所述反馈传动机构的另一端连接丝杆，所述丝杆上设置有滑块，所述滑块在丝杆的驱动下直线运动；所述位移传感器与所述丝杆平行设置，并监测滑块的位移数据；所述监测系统设置有与直线运动轴数量对应的监测反馈模块和直线运动轴驱动装置；其中，所述直线运动轴驱动装置包括电机和传动轴，电机设置在隔离墙面外侧，所述传动轴一端连接电机，另一端穿过隔离墙面与设置在隔离墙面内侧的直线运动轴连接；所述监测反馈模块设置在隔离墙面外侧，并且所述传动齿轮组的所述主动齿轮固定在所述传动轴上，所述传动齿轮组的速比设定为i，所述反馈传动机构的速比为i，所述直线运动轴的行程为l，所述监测反馈模块的滑块行程l，其中，所述监测反馈模块相对于所述直线运动轴的总速比i＝i×i＝l/l。12121212