具有自适应性的抛光头

专利主权项内容

1.一种具有自适应性的抛光头，包括枢轴组件、基体及夹片组件，所述枢轴组件由轴体及盘体组成，所述基体上设置有适于与所述轴体配合的轴孔，所述夹片组件上设置有适于与所述盘体配合的凹槽；所述枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；其特征在于，所述盘体的外周壁设有环形凸缘，所述环形凸缘的外周面与所述凹槽的内周壁线接触；所述环形凸缘的上方和所述环形凸缘的下方分别设有吸振环，所述环形凸缘与所述吸振环配合的一侧上设有通孔；所述吸振环与所述凹槽的内周壁之间设置有间隙；还包括压环，所述压环形成为环形状且其设在上吸振环的上方，并至少一部分覆盖上吸振环且另一部分与夹片组件连接固定。