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一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置
摘要文本
本发明公开了一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，涉及微波等离子体源、微波等离子体激发技术领域，其技术方案要点包括微波波导管、插接在所述微波波导管内的非金属放电管、固定在所述非金属放电管内壁处的辅助激发导体、以及固定在所述微波波导管上且向非金属放电管内通入气体的涡旋气体发生装置；所述辅助激发导体上下两端都位于所述微波波导管内部。能够实现大气压下大体积微波等离子体的激发和维持，并且设计简单，成本低廉，使用寿命长，能实现微波等离子体意外熄灭后的重燃，让微波等离子体的激发更为简单。
申请人信息
- 申请人:清华大学
- 申请人地址:100084 北京市海淀区清华园
- 发明人: 清华大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810936502.3 |
| 申请日 | 2018年8月16日 |
| 公告号 | CN109104808B |
| 公开日 | 2024年2月6日 |
| IPC主分类号 | H05H1/46 |
| 权利人 | 清华大学 |
| 发明人 | 黄诗洋; 张贵新; 刘程; 邓磊; 谢宏 |
| 地址 | 北京市海淀区清华园 |
专利主权项内容
1.一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征在于：包括微波波导管(1)、插接在所述微波波导管(1)内的非金属放电管(2)、固定在所述非金属放电管(2)内壁处的辅助激发导体(3)、以及固定在所述微波波导管(1)上且向非金属放电管(2)内通入气体的涡旋气体发生装置(4)；所述辅助激发导体(3)上下两端都位于所述微波波导管(1)内部；所述非金属放电管(2)的中心轴线位置位于距离微波波导管(1)端面(1/4λ+kλ)处，λ为系统中微波波长，k为大于等于0的整数；所述辅助激发导体(3)贴合在所述非金属放电管(2)内壁上；所述辅助激发导体(3)上延伸形成有尖端(31)。。该数据由<马克数据网>整理