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具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法
摘要文本
本发明提供一种具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法，包括步骤：1)提供一基板；2)于所述基板上形成电极器件，包括测试电极、供电引线、供电电极；3)提供石墨烯并转移至所述电极器件上，至少覆盖所述测试电极；4)将上述结构置于反应炉中退火；5)于退火后的所述石墨烯表面形成具有活性基团的活性薄膜；6)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白。本发明将石墨烯与对特定波长光辐射敏感的光受体蛋白相结合，尤其改变了本征石墨烯对光的无选择性吸收并且吸收率低的缺点，灵敏度高，响应和恢复快，稳定性好，另外，本发明工艺过程简单，成本较低，适于批量生产。
申请人信息
- 申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 北京正旦国际科技有限责任公司
- 申请人地址:200050 上海市长宁区长宁路865号
- 发明人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 北京正旦国际科技有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710018051.0 |
| 申请日 | 2017年1月11日 |
| 公告号 | CN108305912B |
| 公开日 | 2024年3月26日 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 北京正旦国际科技有限责任公司 |
| 发明人 | 李铁; 王伊; 仝敬; 张蕾; 高安然; 张东伟; 宋海峰; 王跃林 |
| 地址 | 上海市长宁区长宁路865号; 北京市昌平区科技园区科学园路33号1号楼 |
专利主权项内容
1.一种具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一基板；2)于所述基板上形成电极器件，所述电极器件包括测试电极、供电引线、供电电极；3)提供石墨烯，将所述石墨烯转移至所述电极器件上，其中，所述石墨烯至少完全覆盖所述测试电极；4)将步骤3)得到的结构置于化学气相沉积反应炉中退火；5)于退火后的所述石墨烯表面形成具有活性基团的活性薄膜；6)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白，所述光受体蛋白与所述活性薄膜的活性基团结合形成共价键，以连接所述光受体蛋白与所述活性薄膜。 （更多数据，详见马克数据网）