一种样品位置校准方法和装置

专利主权项内容

1.一种样品位置校准方法，其特征在于，该方法包括：将放置有样品的样品承载装置载入光学显微镜视场中；所述样品承载装置上设有定位标记；采用光学显微镜对所述样品承载装置成第一放大倍数的像，识别图像中的定位标记并获取所述定位标记在光学显微镜下的第一坐标；将所述样品承载装置载入扫描电子显微镜视场中，采用扫描电子显微镜对所述样品承载装置成第二放大倍数的像，识别图像中的定位标记并获取所述定位标记在扫描电子显微镜下的第二坐标；依据所述第一坐标和第二坐标，确定光学显微镜对应的坐标系和扫描电子显微镜对应的坐标系之间的相对位置关系；基于所述相对位置关系对样品进行定位；其中，所述定位标记包括：中心位置定位标识；所述定位标记还包括：所述中心位置定位标识周围分布的导向标识；所述相对位置关系包括：光学显微镜对应的坐标系和扫描电子显微镜对应的坐标系之间的相对平移量和相对旋转角度。