掩模片、掩模板及其组装方法

专利主权项内容

1.一种掩模板，包括：第一掩模片，包括至少一个第一掩模区域以及围绕所述第一掩模区域的第一周边区域，所述第一掩模片位于所述第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；以及第二掩模片，包括至少一个第二掩模区域以及围绕所述第二掩模区域的第二周边区域，所述第二掩模片位于所述第二周边区域的至少一个边缘部包括下厚度减薄部，其中，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置，且相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片的所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部至少部分交叠设置，所述上厚度减薄部为从所述掩模片的上表面去除部分厚度得到的，所述下厚度减薄部为从所述掩模片的下表面去除部分厚度得到的，所述第一掩模片具有第一延伸方向，所述第一掩模片包括位于所述第一周边区域且沿所述第一延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述上厚度减薄部；所述第二掩模片具有第二延伸方向，所述第二掩模片包括位于所述第二周边区域且沿所述第二延伸方向延伸的第三边缘部和第四边缘部，所述第三边缘部和所述第四边缘部包括所述下厚度减薄部，所述第一周边区域和所述第二周边区域的厚度相同，交叠设置的所述上厚度减薄部与所述下厚度减薄部的整体厚度与所述第一周边区域和/或所述第二周边区域的厚度相同，所述掩模板不设置沿所述第一延伸方向并位于相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片之间的覆盖条。