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一种不积水的抛光头
摘要文本
本发明公开了一种不积水的抛光头，所述抛光头包括：夹片组件；盖体，盖体可移动地安装在夹片组件上且与夹片组件之间限定出容纳腔；基体，基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于容纳腔内，基体与盖体紧密相连；膜片，膜片分别与夹片组件和基体相连，且限定出密闭的腔室。根据本发明实施例的不积水的抛光头，盖体与基体的顶部之间无间隙，防止抛光液进入抛光头内部，这样在夹片组件与基体的相对运动下不会由抛光头内部挤出抛光液，不会影响抛光工艺和抛光效果。
申请人信息
- 申请人:清华大学; 华海清科股份有限公司
- 申请人地址:100084 北京市海淀区清华园
- 发明人: 清华大学; 华海清科股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种不积水的抛光头 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710606798.8 |
| 申请日 | 2017年7月24日 |
| 公告号 | CN107253134B |
| 公开日 | 2024年1月12日 |
| IPC主分类号 | B24B37/11 |
| 权利人 | 清华大学; 华海清科股份有限公司 |
| 发明人 | 赵德文; 路新春; 陈祥玉 |
| 地址 | 北京市海淀区双清路30号; 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号 |
专利主权项内容
1.一种不积水的抛光头，其特征在于，包括：夹片组件；盖体，所述盖体可移动地安装在所述夹片组件上且与所述夹片组件之间限定出容纳腔；基体，所述基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于所述容纳腔内，所述基体与所述盖体紧密相连；膜片，所述膜片分别与所述夹片组件和所述基体相连，且限定出密闭的腔室；所述盖体包括：顶盖，所述基体与所述顶盖紧密相连；围板，所述围板围绕所述顶盖设置且从所述顶盖的外周沿向下延伸；所述夹片组件的上表面设有第二凹槽和部分位于所述盖体内的压盖，所述盖体在上下移动时与所述压盖至少有一部分内外叠合，所述压盖与所述夹片组件之间设有第一密封圈；所述顶盖与围板之间通过倾斜部连接，使得抛光液不进入抛光头内部并在基体与夹片组件相对运动时不被挤出，而是沿所述顶盖通过倾斜部滑下；所述基体与所述盖体的内顶壁面配合连接。