直线型磁约束等离子体装置

专利主权项内容

1.一种直线型等离子体装置，其特征在于：该装置包括离子源、环形磁体、真空室以及换样装置，其中，离子源、真空室以及换样装置顺序连接，并在真空室外环绕安装有若干个环形磁体；环形磁体包括不同内径的环形磁体环绕安装在真空室外侧，使磁体距真空室中轴线距离尽量小，真空室内磁场强度满足要求的前提下使磁体功率尽量小；所述的真空室包括等离子体源室、等离子体诊断室以及靶室，其中，等离子体源室、等离子体诊断室以及靶室顺序连接，并在等离子体源室、等离子体诊断室以及靶室上开有若干个圆形法兰和方形法兰，并在靶室中靠近等离子体诊断室的连接端处开有若干个斜向法兰；所述的等离子体源室和等离子体诊断室为直径相同且相对较小的圆柱筒结构，靶室为直径相对较大的阶梯圆柱筒结构；所述的真空室外环绕的环形磁体包括3组不同内径的圆环形磁体，分别为第一组环形磁体、第二组环形磁体以及第三组环形磁体，其中，第一组环形磁体环绕固定在等离子体源室和等离子体诊断室中圆形法兰、方形法兰之间的间隙处；第二组环形磁体环绕固定在等离子体诊断室于靶室的连接处，使其不遮挡靶室端面的斜向法兰；第三组环形磁体环绕固定在靶室中圆形法兰、方形法兰之间的间隙处；所述的等离子体源室与等离子体诊断室之间，以及等离子体诊断室与靶室之间设有锥孔体；所述锥孔体整体为中心开有圆孔的圆锥型腔体结构，并在锥孔体内外圆锥面形成的腔体中形成冷却流道。