一种基于六维调整的反转法直线度测量装置
摘要文本
本发明涉及一种直线度测量装置，具体地说是一种基于六维重复定位的反转法直线度测量装置，包括六维调整平台、反转平尺和微位移传感器。通过六维调整平台，可以实现反转直线的六维姿态调整；反转平尺两端有直线两点标识球，通过微位移传感器测量直线两点标识球确定反转直线位置，实现反转直线反转前后两次高精度重复定位，进一步实现高精度的直线度误差分离测量。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
- 申请人地址:621999 四川省绵阳市919信箱658分箱
- 发明人: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于六维调整的反转法直线度测量装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711214332.X |
| 申请日 | 2017年11月28日 |
| 公告号 | CN107727051B |
| 公开日 | 2024年2月13日 |
| IPC主分类号 | G01B21/24 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 发明人 | 袁道成; 陶鑫; 朱元庆; 刘波 |
| 地址 | 四川省绵阳市919信箱658分箱 |
专利主权项内容
1.一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，包括传感器安装臂(1)、传感器安装座(2)、蝶形螺母(3)、微位移传感器(27)、反转平尺(4)、六维调整平台(5)，其特征是，所述微位移传感器(27)安装在传感器安装座上，传感器安装座(2)固定在传感器安装臂(1)上，传感器安装臂(1)安装在被测导轨滑台(7)上，可随被测导轨滑台移动；所述六维调整平台(5)底座由三个支撑脚(53)和基板(54)组成，其中两个支撑脚对称分布在基板一侧，另一个支撑脚分布在基板另一侧中间；所述六维调整平台(5)主调整体由两个三维微位移台(52)和三个平尺支撑球(51)组成，三维微位移台(52)固定于基板(54)两侧，两个三维微位移台(52)上基面分别固定1个和2个平尺支撑球(51)；所述反转平尺(4)放置于三个平尺支撑球(51)上；反转平尺(4)两端有直线两点标识球(42)；反转直线六维姿态调整由六维调整平台(5)实现，由底部三个支撑脚(53)和上面两个三维微位移台(52)实现；具体调整过程为：调整底部双支撑脚(53)那一侧的支撑脚(53)，可调整反转平尺(4)滚转角β；同步调整两个三维微位移台(52), 可调整反转平尺(4)X、Y、Z三个方向的位移；沿X方向调整其中一个三维微位移台(52)，可调整反转平尺(4)偏摆角θ；沿Z方向调整其中一个三维微位移台(52)，可调整反转平尺(4)俯仰角α；反转平尺(4)两端有直线两点标识球(42)，通过球面进行反转直线(43)的位置测量定位。