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石英摆式加速度计
摘要文本
本发明公开了一种石英摆式加速度计，属于微电子机械系统技术领域。其包括上极板、中间极板和下极板；上极板和下极板均由键合区、电容平板区和电极引线区组成，键合区围在电容平板区的周边，且电容平板区的至少部分外周未设置键合区，电极引线区的一端悬空，另一端与电容平板区的未设置键合区的部分外周连接，键合区的厚度大于电容平板区的厚度；中间极板由键合区、质量块、挠性梁和电极引线区组成，键合区为环状，质量块经挠性梁与键合区内侧边固定连接，电极引线区一端悬空，另一端与键合区外侧边连接；上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。本发明结构简单、同一种材料、无需精密机械装配，提高可靠性和降低制作难度。。来自马克数据网
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 申请人地址:621999 四川省绵阳市绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 石英摆式加速度计 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311374104.4 |
| 申请日 | 2017年4月6日 |
| 公告号 | CN117368525A |
| 公开日 | 2024年1月9日 |
| IPC主分类号 | G01P15/125 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 发明人 | 张照云; 熊壮; 苏伟 |
| 地址 | 四川省绵阳市游仙区绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种石英摆式加速度计，其特征在于：包括上极板(1)、中间极板(2)和下极板(3)；所述上极板(1)和所述下极板(3)均由键合区(11)、电容平板区(12)和电极引线区(13)组成，所述键合区(11)围在所述电容平板区(12)的周边，且所述电容平板区(12)的至少部分外周未设置所述键合区(11)，所述电极引线区(13)的一端悬空，另一端与所述电容平板区(12)的所述部分外周连接，所述键合区(11)的厚度大于所述电容平板区(12)的厚度；所述中间极板(2)由键合区(21)、质量块(22)、挠性梁(23)和电极引线区(24)组成，所述键合区(21)为环状，所述质量块(22)经所述挠性梁(23)与所述键合区(21)内侧边固定连接，所述电极引线区(24)的一端悬空，另一端与所述键合区(21)外侧边连接；所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。 微信公众号马克数据网