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一种大口径光学元件的面形弹性调整装置
摘要文本
本发明公开了一种大口径光学元件的面形弹性调整装置,该装置包括底框、光学元件、压框、压紧螺钉和调整模块;光学元件通过其自身的迎光面与底框内的三个支撑面接触安装,压框通过压紧螺钉将光学元件固定在底框内部,调整模块安装在压框上,调整模块的运动执行部件中具有点接触的传动环节,调整模块的接触面与光学元件的背光面接触,调整模块在压紧过程只会对光学元件施加正向压力,调整模块在调节过程中的压紧力通过自身的力传感器及外部辅助系统进行实时的监测。本发明以各个作用点的微小压紧力作为系统的输出端,与实际使用过程中只要求保证高分辨率可调的压力而对运动部件分辨率没有要求的需求相符合,结构简单易行。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址:621054 四川省绵阳市绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种大口径光学元件的面形弹性调整装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710367089.9 |
| 申请日 | 2017年5月23日 |
| 公告号 | CN106970450B |
| 公开日 | 2024年1月5日 |
| IPC主分类号 | G02B7/00 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人 | 秦廷海; 严寒; 叶朗; 徐旭; 裴国庆; 林春刚; 张亮 |
| 地址 | 四川省绵阳市绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种大口径光学元件的面形弹性调整装置,其特征在于,该装置包括底框、光学元件、压框、压紧螺钉和调整模块;所述光学元件通过其自身的迎光面与底框内的三个支撑面接触安装,所述压框通过压紧螺钉将光学元件固定在底框内部,所述调整模块安装在压框上,调整模块的运动执行部件中具有点接触的传动环节,调整模块的接触面与光学元件的背光面接触,调整模块在压紧过程的扭矩不会传递给光学元件,只会对光学元件施加正向压力,调整模块在调节过程中的压紧力通过自身的力传感器及外部辅助系统进行实时的监测;所述调整模块包括挠性接触件;所述挠性接触件为一个小圆柱体外形的零件,其底面为一个接触面,顶面有一个力传感器连接孔,圆柱面上有两个正交布局的X方向旋转筋和Y方向旋转筋;所述的挠性接触件通过自身的接触面与所述光学元件的背光面接触;挠性接触件呈现出十字交叉的转轴结构,在压紧过程中挠性十字轴可以根据光学元件表面情况自适应转动。