一种可视的真空气氛烧结炉
摘要文本
本发明提供了一种可视的真空气氛烧结炉,其炉管的两端分别安装有一个水冷法兰,每个水冷法兰上均安装有一个视镜盲板组件;管式真空气氛炉的一侧设有平行光照射装置,另一侧设有成像系统;水冷法兰靠近炉管的外圆侧壁上设有循环水冷层;视镜盲板组件包括带有通孔的盲板和封堵该通孔的视镜;盲板与水冷法兰的端部密封固接,视镜置于水冷法兰内部,且与盲板之间密封连接。本发明通过炉管两端安装的水冷法兰,能够通过循环水冷层对炉管的端部进行降温,对视镜起到保护作用。同时,通过水冷法兰将隔热冷却、真空充气和视镜三种功能的结构进行集成组合,使得本发明的结构更加紧凑,成像更加清晰。
申请人信息
- 申请人:天津中环电炉股份有限公司
- 申请人地址:300403 天津市北辰区经济开发区双川道北
- 发明人: 天津中环电炉股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种可视的真空气氛烧结炉 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711035551.1 |
| 申请日 | 2017年10月30日 |
| 公告号 | CN107747866B |
| 公开日 | 2024年3月26日 |
| IPC主分类号 | F27B5/05 |
| 权利人 | 天津中环电炉股份有限公司 |
| 发明人 | 张文祥; 刘冰; 谢洪波; 张海媛; 郝蓉 |
| 地址 | 天津市北辰区经济开发区双川道北 |
专利主权项内容
1.一种可视的真空气氛烧结炉,其特征在于,包括:管式真空气氛炉,其炉管(5)的两端分别安装有一个水冷法兰(2),每个水冷法兰(2)上均安装有一个视镜盲板组件(8);管式真空气氛炉的一侧设有平行光照射装置(1),另一侧设有成像系统(7);水冷法兰(2),其一端与视镜盲板组件(8)密封连接;另一端套装于炉管(5)的外侧,且水冷法兰(2)与炉管(5)之间安装有O型密封圈;水冷法兰(2)靠近炉管(5)的外圆侧壁上设有循环水冷层;视镜盲板组件(8),其包括带有通孔的盲板(801)和封堵该通孔的视镜(806);盲板(801)与水冷法兰(2)的端部密封固接,视镜(806)置于水冷法兰(2)内部,且与盲板(801)之间密封连接。所述管式真空气氛炉的壳体内部填装有多晶莫来石纤维层(4);壳体的上端安装有至少两组硅钼棒电热件(3),硅钼棒电热件(3)对称分布于所述炉管(5)的两侧;炉管(5)为刚玉管。所述平行光照射装置(1)为一LED灯,LED灯发出的光为蓝色可见光,所述成像系统(7)包括一工业相机,所述工业相机上设有一双远心工业镜头,所述双远心工业镜头上设有一CCD传感器。管式真空气氛炉内的烧结温度为1600~2000℃。