基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置

专利主权项内容

1.基于双测试室气路转换的材料放气率测量方法，包括测量装置，所述测量装置包括样品室(1)，其特征在于，所述样品室(1)两侧分别设有第一测试室(2)和第二测试室(3)，所述第一测试室(2)通过第一通孔(21)与样品室(1)相连通，所述第二测试室(3)通过第二通孔(31)与样品室(1)相连通；所述第一测试室(2)连接第一真空规管(41)，所述样品室(1)连接第二真空规管(42)，所述第二测试室(3)连接第三真空规管(43)；所述第一测试室(2)通过角阀(5)连接分子泵(6)，所述分子泵(6)连接机械泵(7)；所述第一测试室(2)和第二测试室(3)均连接离子泵(8)，所述第一测试室(2)与离子泵(8)之间设有第一插板阀(91)，所述第二测试室(3)与离子泵(8)之间设有第二插板阀(92)；本装置的测量方法包括以下步骤：步骤S1，在所有阀门处于关闭状态下，首先打开角阀(5)，并使用机械泵(7)和分子泵(6)对整个装置抽真空；步骤S2，打开第一插板阀(91)和第二插板阀(92)，对整个装置和离子泵(8)进行烘烤；步骤S3，开启离子泵(8)，同时关闭第一插板阀(91)、第二插板阀(92)和角阀(5)，将待测材料样品放入样品室(1)；步骤S4，再次打开角阀(5)，并使用机械泵(7)和分子泵(6)对整个装置抽真空，当第一真空规管(41)显示的真空度数值达到预设值时，关闭角阀(5)；步骤S5，打开第一插板阀(91)，使用离子泵(8)对第一测试室(2)抽真空，待各真空规管的真空度数值显示稳定后，分别记录第一真空规管(41)、第二真空规管(42)、第三真空规管(43)显示的真空度数值P1、P2、P3；步骤S6，关闭第一插板阀(91)，打开第二插板阀(92)，使用离子泵(8)对第二测试室(3)抽真空，待各真空规管的真空度数值显示稳定后，分别记录第一真空规管(41)、第二真空规管(42)、第三真空规管(43)显示的真空度数值P1’、P2’、P3’；步骤S7，分别比较P1和P3’、P2和P2’、P3和P1’，若误差较大，则需要对装置进行检修后重新进行测量；若误差不大，则样品室(1)内有待测材料样品时，系统的总放气量Q为Q＝C(P3-P1)＝C(P1’-P1)；步骤S8，关闭第一插板阀(91)、第二插板阀(92)和角阀(5)，从样品室(1)内取出待测材料样品，然后打开角阀(5)，用机械泵(7)和分子泵(6)对整个装置抽真空，当第一真空规管(41)显示的真空度数值达到预设值时，关闭角阀(5)；步骤S9，打开第一插板阀(91)，使用离子泵(8)对第一测试室(2)抽真空，待各真空规管的真空度数值显示稳定后，分别记录第一真空规管(41)、第二真空规管(42)、第三真空规管(43)显示的真空度数值P4、P5、P6；步骤S10，关闭第一插板阀(91)，打开第二插板阀(92)，使用离子泵(8)对第二测试室(3)抽真空，待各真空规管的真空度数值显示稳定后，分别记录第一真空规管(41)、第二真空规管(42)、第三真空规管(43)显示的真空度数值P4’、P5’、P6’；步骤S11，计算在样品室(1)内没有待测材料样品时，系统的总放气量Q’，Q’＝C(P6-P4)＝C(P4’-P4)；步骤S12，计算待测材料样品的放气率式中，S为待测材料样品的表面积。