动态模拟真空系统压力精准调节控制装置及方法
摘要文本
本发明涉及动态模拟舱内压力调节技术领域，具体涉及一种动态模拟真空系统压力精准调节控制装置及方法，该装置包括动态模拟舱、压力变送器、抽真空管线和压力补偿管线，抽真空管线上设置抽真空调节阀和真空泵，压力补偿管线与抽真空管线并联，并在压力补偿管线上设置补偿调节阀，动态模拟舱同时连通压力变送器，压力变送器、真空调节阀和补偿调节阀均连接控制器；该方法具体为：首先开启抽真空调节阀和真空泵进行抽真空，直至动态模拟舱内当前压力值到达目标值附近后开启补偿调节阀，通过压力补偿管线向抽空真管线通入补偿气，将动态模拟舱内的压力值调整至目标压力值。本发明在不影响动态模拟舱内其他参数的前提下快速实现舱内压力的精准调节。
申请人信息
- 申请人:淄博真空设备厂有限公司
- 申请人地址:255200 山东省淄博市博山区西外环路296号
- 发明人: 淄博真空设备厂有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 动态模拟真空系统压力精准调节控制装置及方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710228895.8 |
| 申请日 | 2017年4月10日 |
| 公告号 | CN107065951B |
| 公开日 | 2024年2月9日 |
| IPC主分类号 | G05D16/20 |
| 权利人 | 淄博真空设备厂有限公司 |
| 发明人 | 徐法俭; 黄志婷; 袁铮; 赵彩霞; 蒋虎 |
| 地址 | 山东省淄博市博山区西外环路296号 |
专利主权项内容
1.一种动态模拟真空系统压力精准调节控制装置，其特征在于，包括动态模拟舱(1)、压力变送器(2)、抽真空管线(3)、压力补偿管线(4)和控制器(5)，所述抽真空管线(3)一端与动态模拟舱(1)连通，抽真空管线(3)上设置至少两个并联的不同通量的抽真空调节阀(6)和一个真空泵(7)，所述压力补偿管线(4)一端与抽真空管线(3)并联，压力补偿管线(4)上并联至少两个不同通量的补偿调节阀(8)，所述动态模拟舱(1)同时连通压力变送器(2)，所述压力变送器(2)连接控制器(5)，所述控制器(5)同时连通抽真空调节阀(6)和补偿调节阀(8)；所述补偿调节阀(8)设有三个；采用所述的动态模拟真空系统压力精准调节控制装置进行精准压力控制的方法，包括以下步骤：第一步，压力变送器(2)测量动态模拟舱(1)内的压力，根据动态模拟舱(1)内当前压力值与目标压力值差值的大小控制开启合适的抽真空调节阀(6)和真空泵(7)进行抽真空；第二步，根据动态模拟舱(1)内当前压力值与目标压力值差值的大小开启合适的补偿调节阀(8)，通过压力补偿管线(4)向抽空真管线(3)通入补偿气，补偿气对抽真空管线(3)的有效抽速进行微调，将动态模拟舱(1)内的压力值调整至目标压力值，由压力变送器(2)实时检测动态模拟舱(1)内当前压力值，实现动态模拟舱(1)内当前压力值的动态跟踪；所述第二步中补偿调节阀(8)设置三个，根据通量由大到小分别设置为第一补偿调节阀、第二补偿调节阀和第三补偿调节阀，当动态模拟舱(1)内当前压力值与目标压力值差值降至目标压力值的预设补气粗调比例时，关闭第三抽真空调节阀，打开第一补偿调节阀，当动态模拟舱(1)内当前压力值与目标压力值差值降至目标压力值的预设补气微调比例时，关闭第一补偿调节阀，打开第二补偿调节阀，当动态模拟舱(1)内当前压力值与目标压力值差值降至目标压力值的预设补气精调比例时，关闭第二补偿调节阀，打开第三补偿调节阀，直至压力值与目标压力值相等。