一种激光直写仪加工微波毫米波电路的样品台和使用方法

专利主权项内容

1.一种激光直写仪加工微波毫米波电路的样品台，其特征在于，包括真空吸附平台及两个弹簧夹组件；所述真空吸附平台整体呈一平板状，在其上表面向下形成一矩形的凹坑为基片框，所述基片框上开设真空吸附孔、导通通道和导通环，所述真空吸附孔为通孔，所述导通通道和导通环为通气槽，所述导通环为以真空吸附孔为圆心的圆或者圆弧，所述导通通道将导通环和真空吸附孔连通；所述基片框的长度和宽度均满足大于激光直写仪所能加工区域的最大尺寸；所述基片框的深度满足：基片放入后，基片上表面与激光直写头的距离不超过激光直写头所能上下移动的最大范围；所述弹簧夹组件包括夹持板、底板、扭簧、手柄、销轴和连杆，所述连杆具有第一铰接端和第二铰接端，所述第一铰接端与底板转动连接，所述第二铰接端与夹持板转动连接，所述销轴安装在底板上，所述扭簧的簧体套装在销轴上，所述扭簧的一端安装手柄，所述扭簧的另一端向外形成一延伸臂，所述延伸臂与夹持板转动连接，所述扭簧、连杆、底板和夹持板组成平面四连杆机构，所述底板上开设孔，所述手柄上向外形成有凸起，所述凸起与孔配合使用。