一种基于扫频OCT的激光打标装置

专利主权项内容

1.一种基于扫频OCT的激光打标装置，包括：打标激光头、升降机构、打标工作台，所述升降机构与所述打标激光头连接，所述打标激光头内设有：打标激光系统，所述打标工作台位于所述打标激光头下方，其特征在于，所述打标激光头内还设有：扫频OCT系统，所述扫频OCT系统的样品臂与所述打标激光系统具有重合的光路；所述打标激光系统包括：打标激光器、单向透镜、二维扫描振镜系统、平场透镜，所述打标激光器用于发出打标激光，所述打标激光依次通过单向透镜、二维扫描振镜系统、平场透镜；所述扫频OCT系统包括：计算机、点探测器、扫频激光器、分光镜，所述计算机分别与所述升降机构和所述点探测器电连，所述扫频激光器用于发出扫频激光，所述扫频激光通过所述分光镜分为两束激光，第一束激光透过所述分光镜到达参考镜并反射，再经所述分光镜反射进入所述点探测器，第二束激光在所述分光镜表面反射，经所述单向透镜反射进入所述二维扫描振镜系统，然后进入所述平场透镜和所述打标工作台，在所述打标工作台上的工件表面反射，反射光原路返回到所述分光镜，并透过所述分光镜进入所述点探测器。