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一种石墨舟对中装置
摘要文本
本发明是一种石墨舟对中装置，包括石墨舟盖板，石墨舟底盘，石墨舟盖板对中模块，石墨舟底盘对中模块和底座；其中，石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模固定于底座上，石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上，石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座上。优点：1、在不增加机械手步骤降低产能的情况下完成石墨舟的对中。2、解决了由于设备老化、不稳定导致石墨舟位置变动导致的晶片报废的情况。3、提高了石墨舟在腔室内位置的稳定性。
申请人信息
- 申请人:中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 申请人地址:210016 江苏省南京市中山东路524号
- 发明人: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石墨舟对中装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711184475.0 |
| 申请日 | 2017年11月23日 |
| 公告号 | CN108039336B |
| 公开日 | 2024年2月20日 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 发明人 | 夏久龙; 周明祥; 王向阳 |
| 地址 | 江苏省南京市中山东路524号 |
专利主权项内容
1.一种石墨舟对中装置，其特征是包括石墨舟盖板，石墨舟底盘，石墨舟盖板对中模块，石墨舟底盘对中模块和底座；其中，石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块固定于底座上，石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上，石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座的中央；所述石墨舟底盘上有通孔，对中模块预留槽，石墨舟盖板取样槽，石墨舟盖板边槽，晶片边槽和取晶片预留槽；其中，石墨舟底盘的圆周上表面有石墨舟盖板边槽，石墨舟盖板取样槽位于石墨舟底盘上表面，石墨舟盖板取样槽连接石墨舟盖板边槽和晶片边槽，石墨舟底盘中部上表面有晶片边槽，取晶片预留槽位于晶片边槽上，对中模块预留槽位于石墨舟底盘圆周侧面，通孔位于石墨舟底盘中心上表面；所述石墨舟盖板对中模块包括石墨舟盖板导轨槽和石墨舟盖板支撑面；其中，石墨舟盖板导轨槽和石墨舟盖板支撑面相连，石墨舟盖板支撑面固定于底座上；所述石墨舟底盘对中模块包括晶片支撑片、石墨舟底盘下降导柱、石墨舟底盘下降对中斜面和石墨舟底盘支撑面；其中，晶片支撑片连接石墨舟底盘下降导柱，石墨舟底盘下降导柱连接石墨舟底盘下降对中斜面，石墨舟底盘下降对中斜面连接石墨舟底盘支撑面，石墨舟底盘支撑面固定于底座上。。来自：马 克 团 队