一种激光输出装置及调整方法

专利主权项内容

1.一种激光输出装置，用于使第二激光共焦输出在工作面表面的由第一激光形成的聚焦点上，其特征在于，所述激光输出装置包括主体部、定位部和控制系统，所述主体部包括激光入射口、振镜扫描系统、聚焦场镜和成像系统；所述激光入射口位于所述主体部的侧面，用于供所述第二激光进入所述主体部；所述定位部用于在所述工作面上限定工作范围，以对所述聚焦点进行第一次定位；所述成像系统用于对所述聚焦点进行第二次定位，以形成图像信息，所述成像系统的光学轴线与所述聚焦场镜的光学轴线平行，所述成像系统的光学范围不小于所述工作范围；所述控制系统用于根据所述图像信息生成位置信息；所述振镜扫描系统用于根据所述位置信息改变入射激光的光路，使所述第二激光的入瞳位置为所述聚焦场镜的前焦点位置；所述聚焦场镜位于所述振镜扫描系统正下方，用于使所述第二激光输出在所述聚焦点上；所述振镜扫描系统包括第一振镜扫描单元和第二振镜扫描单元，所述第一振镜扫描系统的光学轴线与所述工作面垂直，所述第二振镜扫描系统的光学轴线与所述工作面平行；所述第一振镜扫描单元包括由上至下依次设置的第一振镜和第一反射镜，所述第二振镜扫描单元包括从左至右依次设置的第二振镜和第二反射镜，所述第一反射镜的光学轴线和所述第二反射镜的光学轴线位于同一平面，所述第一振镜用于驱动所述第一反射镜绕所述第一振镜的轴线进行摆动，所述第二振镜用于驱动所述第二反射镜绕所述第二振镜的轴线进行摆动。。来源：马 克 团 队