一种三轴加速度传感器处理电路
摘要文本
本发明涉及加速度传感器技术领域，提出了一种三轴加速度传感器处理电路，包括：MEMS加速度计敏感结构，感应X、Y和Z三个不同轴向加速度并输出对应电容信号的MEMS加速度计敏感结构；半导体信号处理集成电路，根据每个MEMS加速度计敏感结构输出的电容信号，生成每个轴向对应的加速度值。本发明通过构建单片集成的三轴加速度传感器处理电路，将信号处理电路集成到单一半导体集成电路上，提高了集成度并且降低了制造成本；通过考虑温漂以及元器件硬件误差，以此进行针对每个轴向传感器信号的误差标定修正，提高了检测精度；通过调节MEMS加速度计敏感结构的摆动重心，进而实现高效便捷的调节加速度计的机械灵敏度，提高了加速度传感器的灵敏度适应性。 （更多数据，详见马克数据网）
申请人信息
- 申请人:四川芯音科技有限公司
- 申请人地址:610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区天府三街218号2栋16层1618号
- 发明人: 四川芯音科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种三轴加速度传感器处理电路 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410241083.7 |
| 申请日 | 2024/3/4 |
| 公告号 | CN117825749A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | G01P15/125 |
| 权利人 | 四川芯音科技有限公司 |
| 发明人 | 王龙峰 |
| 地址 | 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区天府三街218号2栋16层1618号 |
专利主权项内容
1.一种三轴加速度传感器处理电路，其特征在于，包括：三个MEMS加速度计敏感结构，所述三个MEMS加速度计敏感结构被配置为感应X、Y和Z三个不同轴向的加速度，并输出每个轴向的加速度对应的电容信号；半导体信号处理集成电路，所述半导体信号处理集成电路连接三个不同轴向的MEMS加速度计敏感结构，被配置为根据每个MEMS加速度计敏感结构输出的电容信号，生成每个轴向对应的加速度值；其中，所述半导体信号处理集成电路，包括：信号处理模块，所述信号处理模块被配置为将每个轴向的加速度对应的电容信号转换为电压信号，并对所述电压信号进行滤波、放大以及每个轴向电压信号的分时模数转换，生成电压数字信号；温度检测模块，所述温度检测模块被配置为检测所述半导体信号处理集成电路的温度信息并进行模数转换，生成温度数字信号；标定信息存储模块，所述标定信息存储模块被配置为存储所述半导体信号处理集成电路的标定信息；输出控制模块，所述输出控制模块被配置为基于所述温度数字信号和所述标定信息，对每个轴向的电压数字信号进行补偿修正，并根据每个MEMS加速度计敏感结构对应的电压值与加速度转换关系式，生成每个MEMS加速度计敏感结构感应到的加速度值。