一种基于图像处理的晶圆元器件统计方法

专利主权项内容

1.一种基于图像处理的晶圆元器件统计方法，其特征在于，具体包括以下步骤：采集晶圆图像，通过图像处理获取晶圆单元基准；根据晶圆单元基准，获取待测晶圆的偏移以及偏转角度；根据待测晶圆的偏移以及偏转角度，对晶圆单元基准进行补偿，反推出当前待测晶圆中，各晶圆单元包含的元器件的理论位置；基于补偿后的晶圆单元基准，对待测晶圆各晶圆单元上剩余元器件的种类以及位置进行统计；所述采集晶圆图像，通过图像处理获取晶圆单元基准，包括：打开下光源，拍摄一张包含一个完整晶圆单元的图像并保存，在该图像中将晶圆单元特征点所在的区域划分为特征点区域，然后将图像中完整晶圆单元划为ROI区域，在ROI区域内对晶圆单元上的元器件边缘进行划线处理，得到晶圆单元元器件边缘划线模板；关闭下光源，打开上光源，在相同位置处再次拍摄一张包含一个完整晶圆单元的图像并保存，将上一步骤得到的晶圆单元的ROI区域以及元器件边缘划线模板应用于此图像，对晶圆单元进行边缘检测，检测出的元器件边缘数为该晶圆单元中所含元器件的总数；将芯片类型进行对应，最终得出一个晶圆单元中每种类型的元器件各有多少颗，将此完整晶圆单元、元器件边缘划线模板及边缘检测方法进行储存，作为晶圆单元基准。