一种大功率高频脉冲等离子体电源及其充放电方法

专利主权项内容

1.一种大功率高频脉冲等离子体电源，用于工程等离子体流动控制，其特征在于，包括：脉冲触发源、脉冲电流源和间隙负载Load；脉冲触发源和脉冲电流源的连接公共端连接间隙负载Load；脉冲触发源包括电压可调直流电源V1、薄膜电容C4、薄膜电容C6、绝缘栅双极晶体管IGBT1、绝缘栅双极晶体管IGBT2、二极管D1、二极管D2、二极管D4、二极管D5、脉冲变压器TX1、第一级磁开关、第二级磁开关、电阻R1；绝缘栅双极晶体管IGBT1的漏极与电源的正极连接，绝缘栅双极晶体管IGBT1的源极与二极管D1的负极连接，二极管D1的正极与电源的负极连接；脉冲变压器TX1的初级绕组的两端分别与二极管D1的两端连接；脉冲变压器TX1的副级绕组的一端与二极管D4的正极连接，另一端通过薄膜电容C4与二极管D4的负极连接；另一端还通过第一级磁开关和二极管D5与薄膜电容C4连接；二极管D5的负极依次通过第二级磁开关和电阻R1接地，第二级磁开关通过二极管D2与间隙负载Load连接。