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压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器

申请号: CN202410063803.5
申请人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日期: 2024/1/17

摘要文本

本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元,框架形成有第一容置空间,敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部;第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置;其中,质量块的纵向为质量块的敏感方向,质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行;质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置,从而减小敏感结构的体积。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器
专利类型 发明申请
申请号 CN202410063803.5
申请日 2024/1/17
公告号 CN117607489A
公开日 2024/2/27
IPC主分类号 G01P15/12
权利人 中国工程物理研究院电子工程研究所
发明人 陶逢刚; 谢晋; 熊壮; 赵宝林; 刘显学; 王颉; 李严军
地址 四川省绵阳市游仙区绵山路64号

专利主权项内容

来自马-克-数-据 1.一种压阻式加速度传感器的敏感结构,其特征在于,包括:框架,所述框架形成有第一容置空间;敏感单元,所述敏感单元设置于所述第一容置空间内,所述敏感单元包括:质量块,所述质量块具有主体以及凸出于所述主体的凸部;第一支撑梁,所述第一支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第一纵向位置,另一端连接至所述框架;第二支撑梁,所述第二支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第二纵向位置,另一端连接至所述框架;其中,质量块的纵向为质量块的敏感方向;所述第一支撑梁与所述第二支撑梁分别设置于所述质量块的主体的相对的两侧,所述质量块的凸部的延伸方向与所述第一支撑梁、所述第二支撑梁的延伸方向平行;所述质量块在加速度作用下对所述第一支撑梁和所述第二支撑梁产生作用力。