一种脉冲压缩光栅表面有机物在线去除与监测系统及其应用

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本发明公开了一种脉冲压缩光栅表面有机物在线去除与监测系统，包括：压缩池，其连接有真空系统，所述压缩池侧壁连接有光路管道入口和出口，所述光路管道入口和出口上设置有能量计；四极质谱仪，其设置在所述压缩池侧壁上；两个镀金脉冲压缩光栅，其设置在所述压缩池内部；两个可移动朗缪尔探针，其分别与两个所述镀金脉冲压缩光栅设置在同一水平高度；两个介质膜脉冲压缩光栅，其设置在所述压缩池内部，所述压缩池内部设置有与所述介质膜脉冲压缩光栅对应的可移动镀金玻璃板。有益效果：利用等离子体对去除光栅表面有机物，并实时监测污染和清洗状态；射频电源采用双频驱动，提高了清洗效率，避免了长时间清洗可能对光栅表面微结构的损伤。