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一种用于过渡热沉的制备金锡焊料层的方法

申请号: CN202410125438.6
申请人: 天津正新光电科技有限公司
申请日期: 2024/1/30

摘要文本

本发明提供一种用于过渡热沉的制备金锡焊料层的方法,所述方法包括:在基板的正反面上依次制备金属种子层、第一铜层、镍层、金层和铂层后,采用双电子枪同时蒸发金和锡,制备得到用于过渡热沉的金锡焊料层。本发明所述的用于过渡热沉的制备金锡焊料层的方法采用双电子枪同时蒸发金和锡制备用于过渡热沉的金锡焊料层,并通过控制金源和锡源的不同的蒸发速率来精确稳定的制备所需要的金锡比例的焊料,金锡焊料中金的重量占比为70~80wt%范围内精确可调,最终形成的过渡热沉能很好的满足半导体激光器的封装要求,具有大规模推广应用前景。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种用于过渡热沉的制备金锡焊料层的方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410125438.6
申请日 2024/1/30
公告号 CN117646173A
公开日 2024/3/5
IPC主分类号 C23C14/30
权利人 天津正新光电科技有限公司
发明人 贾晓霞; 王勇; 李军
地址 天津市滨海新区天津自贸试验区(空港经济区)东九道69号生产楼二、二层

专利主权项内容

1.一种用于过渡热沉的制备金锡焊料层的方法,其特征在于,所述方法包括:在基板的正反面上依次制备金属种子层、第一铜层、镍层、金层和铂层后,采用双电子枪同时蒸发金和锡,制备得到用于过渡热沉的金锡焊料层。