激光直写装置

专利主权项内容

1.一种激光直写装置，包括：激光产生装置，适用于产生第一激光束和第二激光束，所述第二激光束适用于扫描样品，使得所述样品发出激发光束；探测单元，包括：滤光片，适用于对所述激发光束进行频域滤波，以减少所述第二激光束的反射干扰，提高所述激发光束的信噪比；第一凸透镜，适用于对经频域滤波的激发光束进行聚焦，获得第一聚焦光束；空间滤波器，适用于对所述第一聚焦光束进行空间滤波，获得第二聚焦光束，增强所述第一聚焦光束的空间分辨率；以及探测器，适用于基于所述第二聚焦光束实现光电转换，适用于获得所述第二聚焦光束的光强，并基于所述第二聚焦光束获得表征所述样品的表面形貌信息的图像；直写单元，包括显微镜镜头，所述显微镜镜头适用于将所述第一激光束和第二激光束汇聚到样品表面；三维移动台，适用于可移动地支撑所述样品；以及控制器，根据所述激发光束的光强以及所述样品的表面形貌信息，通过调节所述三维移动台的位置使得显微镜镜头聚焦到所述样品的发光中心，使得所述直写单元利用所述第一激光束对涂覆有光刻胶的样品进行曝光。